Полупроводниковый газоанализатор кислорода, содержащий корпус с измерительной и сравнительной проточной камерами, снабженные входными и выходными штуцерами, в которых размещены соответственно измерительный и сравнительный транзисторы, подключенные к стабилизированному источнику электропитания, электронный усилитель, вход которого подключен к коллекторам транзисторов, а выход соединен с потенциометром, камеру для насыщения газа-носителя парами полярного углеводорода, снабженную входным и выходным штуцерами, стабилизатор расхода газа-носителя, выходной штуцер которого соединен с входным штуцером камеры для насыщения газа-носителя парами полярного углеводорода, и устройство для ввода пробы анализируемого газа, отличающийся тем, что полупроводниковый газоанализатор дополнительно содержит тройник и два переменных дросселя, при этом вход тройника соединен с выходным штуцером камеры для насыщения газа-носителя, а два его выходы подключены к входам переменных дросселей, причем выход одного из переменных дросселей соединен непосредственно с входным штуцером сравнительной камеры, а выход другого переменного дросселя соединен с входным штуцером измерительной камеры через устройство ввода пробы анализируемого газа, при этом камера для насыщения газа носителя парами полярного углеводорода выполнена в виде трубки, заполненной нафталином.