Изобретение относится к области нанотехнологии, а именно к устройствам, обеспечивающим получение информации о топологии и других свойствах поверхности объекта. Нанозонд сканирующего микроскопа состоит из последовательно соединенных рабочего элемента нанозонда, консоли, держателя, датчика частоты собственных колебаний консоли и оптического датчика движения консоли, оптически связанного с консолью, а также привода рабочего элемента и блока формирования сигнала рассогласования положения рабочего элемента, входы которого подключены к выходам оптического датчика движения консоли и датчика частоты собственных колебаний консоли. Выход блока формирования сигнала связан с входом привода рабочего элемента, второй вход которого связан с консолью. Рабочий элемент выполнен в виде углеродной нанотрубки. Техническим результатом изобретения является повышение точности и надежности зонда микроскопа. 1 з.п. ф-лы, 1 ил.
