1. Газовый реактор с СВЧ-возбуждением, содержащий камеру из тугоплавкого диэлектрического материала с патрубками для подвода газового реагента в полость камеры и вывода отработанного реагента из полости камеры, а также содержащий источник накачки газового реагента, включающий генератор электромагнитных волн (ЭМВ) с резонатором и высоковольтный разрядник, электроды которого выведены в полость камеры, корпус которой выполнен из тугоплавкого диэлектрического материала, отличающийся тем, что он дополнительно содержит управляемый по частоте генератор импульсов, соединенный по выходу с управляющим входом источника накачки, корпус камеры реактора установлен непосредственно в резонаторе генератора ЭМВ, при этом патрубок для подвода газового реагента в полость камеры снабжен обратным клапаном.
2. Газовый реактор по п.1, отличающееся тем, что генератор ЭМВ выполнен в виде магнетрона или пролетного клистрона.
3. Газовый реактор по п.1, отличающееся тем, что тугоплавкий диэлектрический материал корпуса камеры выполнен из керамики, фарфора и/или кварцевого стекла.
4. Газовый реактор по п.1, отличающееся тем, что тугоплавкие электроды выполнены из вольфрама или графита.
