H01L21/308 | Каталог Тверских изобретений

RSS

H01L21/308

СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ПЕРИОДИЧЕСКИХ ПРОФИЛЕЙ НА ПОВЕРХНОСТИ КРИСТАЛЛОВ ПАРАТЕЛЛУРИТА

23.11 2017

Comments off

(45) Дата публикации:

28.06.2017

2 623 681

(51) Класс МПК:

(72) Автор(ы):

Третьяков Сергей Андреевич (RU)

Колесников Александр Игоревич (RU)

Воронцов Михаил Сергеевич (RU)

Иванова Александра Ивановна (RU)

(73) Патентообладатель(и):

Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Тверской государственный университет" (RU)

Подробнее о СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ПЕРИОДИЧЕСКИХ ПРОФИЛЕЙ НА ПОВЕРХНОСТИ КРИСТАЛЛОВ ПАРАТЕЛЛУРИТА