Воронцов Михаил Сергеевич (RU)

СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ПЕРИОДИЧЕСКИХ ПРОФИЛЕЙ НА ПОВЕРХНОСТИ КРИСТАЛЛОВ ПАРАТЕЛЛУРИТА

(45) Дата публикации
28.06.2017

(11) Номер изобретения
2623681

(51) Класс МПК
H01L21/308

(72) Автор(ы)

Третьяков Сергей Андреевич (RU)

Колесников Александр Игоревич (RU)

Воронцов Михаил Сергеевич (RU)

Иванова Александра Ивановна (RU)

(73) Патентообладатель(и)

Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Тверской государственный университет" (RU)
СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ПЕРИОДИЧЕСКИХ ПРОФИЛЕЙ НА ПОВЕРХНОСТИ КРИСТАЛЛОВ ПАРАТЕЛЛУРИТА

(45) Дата публикации
28.06.2017

(11) Номер изобретения
2623681

(51) Класс МПК
H01L21/308

(72) Автор(ы)

Третьяков Сергей Андреевич (RU)

Колесников Александр Игоревич (RU)

Воронцов Михаил Сергеевич (RU)

Иванова Александра Ивановна (RU)

(73) Патентообладатель(и)

Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Тверской государственный университет" (RU)
СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ПЕРИОДИЧЕСКИХ ПРОФИЛЕЙ НА ПОВЕРХНОСТИ КРИСТАЛЛОВ ПАРАТЕЛЛУРИТА

(45) Дата публикации
28.06.2017

(11) Номер изобретения
2623681

(51) Класс МПК
H01L21/308

(72) Автор(ы)

Третьяков Сергей Андреевич (RU)

Колесников Александр Игоревич (RU)

Воронцов Михаил Сергеевич (RU)

Иванова Александра Ивановна (RU)

(73) Патентообладатель(и)

Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Тверской государственный университет" (RU)
СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ПЕРИОДИЧЕСКИХ ПРОФИЛЕЙ НА ПОВЕРХНОСТИ КРИСТАЛЛОВ ПАРАТЕЛЛУРИТА

(45) Дата публикации
28.06.2017

(11) Номер изобретения
2623681

(51) Класс МПК
H01L21/308

(72) Автор(ы)

Третьяков Сергей Андреевич (RU)

Колесников Александр Игоревич (RU)

Воронцов Михаил Сергеевич (RU)

Иванова Александра Ивановна (RU)

(73) Патентообладатель(и)

Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Тверской государственный университет" (RU)
СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ПЕРИОДИЧЕСКИХ ПРОФИЛЕЙ НА ПОВЕРХНОСТИ КРИСТАЛЛОВ ПАРАТЕЛЛУРИТА

(45) Дата публикации
28.06.2017

(11) Номер изобретения
2623681

(51) Класс МПК
H01L21/308

(72) Автор(ы)

Третьяков Сергей Андреевич (RU)

Колесников Александр Игоревич (RU)

Воронцов Михаил Сергеевич (RU)

Иванова Александра Ивановна (RU)

(73) Патентообладатель(и)

Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Тверской государственный университет" (RU)
СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ПЕРИОДИЧЕСКИХ ПРОФИЛЕЙ НА ПОВЕРХНОСТИ КРИСТАЛЛОВ ПАРАТЕЛЛУРИТА

(45) Дата публикации
28.06.2017

(11) Номер изобретения
2623681

(51) Класс МПК
H01L21/308

(72) Автор(ы)

Третьяков Сергей Андреевич (RU)

Колесников Александр Игоревич (RU)

Воронцов Михаил Сергеевич (RU)

Иванова Александра Ивановна (RU)

(73) Патентообладатель(и)

Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Тверской государственный университет" (RU)