Молчанов Сергей Вячеславович (RU)

СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ УДЕЛЬНОГО ЭЛЕКТРОСОПРОТИВЛЕНИЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВ С ПОМОЩЬЮ ИНФРАКРАСНОЙ ОПТИКИ

(45) Дата публикации
28.06.2021

(11) Номер изобретения
2750427

(51) Класс МПК
H01L21/66

(72) Автор(ы)

Третьяков Сергей Андреевич (RU)

Молчанов Сергей Вячеславович (RU)

Иванова Александра Ивановна (RU)

Каплунов Иван Александрович (RU)

(73) Патентообладатель(и)

Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Тверской государственный университет" (RU)
СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ УДЕЛЬНОГО ЭЛЕКТРОСОПРОТИВЛЕНИЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВ С ПОМОЩЬЮ ИНФРАКРАСНОЙ ОПТИКИ

(45) Дата публикации
28.06.2021

(11) Номер изобретения
2750427

(51) Класс МПК
H01L21/66

(72) Автор(ы)

Третьяков Сергей Андреевич (RU)

Молчанов Сергей Вячеславович (RU)

Иванова Александра Ивановна (RU)

Каплунов Иван Александрович (RU)

(73) Патентообладатель(и)

Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Тверской государственный университет" (RU)
СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ УДЕЛЬНОГО ЭЛЕКТРОСОПРОТИВЛЕНИЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВ С ПОМОЩЬЮ ИНФРАКРАСНОЙ ОПТИКИ

(45) Дата публикации
28.06.2021

(11) Номер изобретения
2750427

(51) Класс МПК
H01L21/66

(72) Автор(ы)

Третьяков Сергей Андреевич (RU)

Молчанов Сергей Вячеславович (RU)

Иванова Александра Ивановна (RU)

Каплунов Иван Александрович (RU)

(73) Патентообладатель(и)

Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Тверской государственный университет" (RU)
СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ УДЕЛЬНОГО ЭЛЕКТРОСОПРОТИВЛЕНИЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВ С ПОМОЩЬЮ ИНФРАКРАСНОЙ ОПТИКИ

(45) Дата публикации
28.06.2021

(11) Номер изобретения
2750427

(51) Класс МПК
H01L21/66

(72) Автор(ы)

Третьяков Сергей Андреевич (RU)

Молчанов Сергей Вячеславович (RU)

Иванова Александра Ивановна (RU)

Каплунов Иван Александрович (RU)

(73) Патентообладатель(и)

Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Тверской государственный университет" (RU)
СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ УДЕЛЬНОГО ЭЛЕКТРОСОПРОТИВЛЕНИЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВ С ПОМОЩЬЮ ИНФРАКРАСНОЙ ОПТИКИ

(45) Дата публикации
28.06.2021

(11) Номер изобретения
2750427

(51) Класс МПК
H01L21/66

(72) Автор(ы)

Третьяков Сергей Андреевич (RU)

Молчанов Сергей Вячеславович (RU)

Иванова Александра Ивановна (RU)

Каплунов Иван Александрович (RU)

(73) Патентообладатель(и)

Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Тверской государственный университет" (RU)
СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ УДЕЛЬНОГО ЭЛЕКТРОСОПРОТИВЛЕНИЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВ С ПОМОЩЬЮ ИНФРАКРАСНОЙ ОПТИКИ

(45) Дата публикации
28.06.2021

(11) Номер изобретения
2750427

(51) Класс МПК
H01L21/66

(72) Автор(ы)

Третьяков Сергей Андреевич (RU)

Молчанов Сергей Вячеславович (RU)

Иванова Александра Ивановна (RU)

Каплунов Иван Александрович (RU)

(73) Патентообладатель(и)

Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Тверской государственный университет" (RU)