H01L21/66 | Каталог Тверских изобретений

RSS

H01L21/66

СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ УДЕЛЬНОГО ЭЛЕКТРОСОПРОТИВЛЕНИЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВ С ПОМОЩЬЮ ИНФРАКРАСНОЙ ОПТИКИ

09.07 2021

(45) Дата публикации:

28.06.2021

2 750 427

(51) Класс МПК:

(72) Автор(ы):

Третьяков Сергей Андреевич (RU)

Молчанов Сергей Вячеславович (RU)

Иванова Александра Ивановна (RU)

Каплунов Иван Александрович (RU)

(73) Патентообладатель(и):

Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Тверской государственный университет" (RU)

Подробнее о СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ УДЕЛЬНОГО ЭЛЕКТРОСОПРОТИВЛЕНИЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВ С ПОМОЩЬЮ ИНФРАКРАСНОЙ ОПТИКИ